场发射透射电子显微镜/能谱仪

原理

场发射透射电子显微镜是以场发射电子发射体发射电子,并以电子束为光源，在真空状态下通过电磁透镜控制电子束汇集成很小的束斑照射并透过样品。由于电子的德布罗意波长非常短，因而TEM可以获得样品原子级微观形貌。

应用

1. 透射电子显微镜 : 明场/暗场/高分辨像
2. 扫描透射电子显微镜 : 明场/高角度环形暗场像 
3. X射线能谱仪 : 元素图谱/线扫描/面扫描
4. 纳米束电子衍射 : 电子束直径小于5纳米，可提供准确衍射图谱

技术参数:

1. 放大倍数：x1500,000
2. 晶格分辨率： 0.1 nm
3. 点分辨率： 0.19 nm