关于宸鸿 / ABOUT US
企业介绍 实验室展示 荣誉资质

设备详情

Equipment details

聚焦离子&电子双束系统/能谱仪

原理

聚焦离子束系统是利用电磁透镜将液态金属Ga聚集成非常小的离子束,离子束进而轰击样品表面,利用物理碰撞来达到切割的目的,并利用产生的二次电子和二次离子进行观察成像。

 

主要应用

  1. 精细切割,利用粒子的物理碰撞来达到切割的目的;
  2. 选择性的材料蒸镀,利用离子束的能量诱生化学反应进行金属和介质层的沉积(Pt/W);
  3. 制备透射电镜(TEM)样品
  4. 高分辨扫描电镜, SEM采用二次电子来实现高分辨成像
  5. 样品元素组分定性半定量测量(搭配EDX)

 

技术参数

  1. 离子源 : Ga (加速电压 : 10kV-40kV)
  2. 最大束流 : > 70nA @ 40kV 
  3. SIM分辨率 : 5nm @ 40kV
  4. FE-SEM分辨率 : 1.0nm @15kV

 

上一个:场发射扫描电子显微镜/能谱仪
下一个:场发射透射电子显微镜/能谱仪

https://beian.miit.gov.cn/|闽ICP备19025704号-1

友情链接

友情链接1

友情链接2