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设备详情

Equipment details

场发射扫描电子显微镜/能谱仪

原理

冷场发射扫描电子显微镜(SEM)运用高能量电子束光栅式扫描样品表面从而得到样品图像。入射电子和组成样品的原子反应,产生的二次电子,特征X射线即可表现样品的表面形貌和成分等讯息。

 

主要应用

  1. 可以进行各种材料的微观形貌观察
  2. 材料微区成分分析
  3. 快速进行多种元素面分布和线分布的测量

 

技术参数

  1. 最大放大倍率  : ×800,000
  2. 分辨率 : 1 nm  ( 15KV )

 

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