场发射扫描电子显微镜/能谱仪

原理

冷场发射扫描电子显微镜（SEM）运用高能量电子束光栅式扫描样品表面从而得到样品图像。入射电子和组成样品的原子反应，产生的二次电子，特征X射线即可表现样品的表面形貌和成分等讯息。

主要应用

1. 可以进行各种材料的微观形貌观察
2. 材料微区成分分析
3. 快速进行多种元素面分布和线分布的测量

技术参数

1. 最大放大倍率  : ×800,000
2. 分辨率 : 1 nm  ( 15KV )